• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>MEMS/MOEMS Technologies and Applications II >Structure design of Si-based M-Z interference acceleration seismic geophone
【24h】

Structure design of Si-based M-Z interference acceleration seismic geophone

机译：硅基M-Z干扰加速度地震检波器的结构设计

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

A novel Si-based MOEMS acceleration seismic geophone, based on M-Z interferometry, is present in this paper. In one silicon chip, several elements including four silicon beams,seismic mass, a polarizer, M-Z waveguide interferometer and acousto-optic phase modulator are integrated. The working principle and the optimization structure design of the acceleration seismic geophone are given. The simulation result performed in FEM software ANSYS agrees with the theoretical analysis well. The main design parameters of the geophone system is as following: resonance frequency: 1353 Hz; phase detection sensitivity Δ Φ/a: 1.2 x 10~(-4)rad/m/s~2.
机译：本文提出了一种基于M-Z干涉法的新型Si基MOEMS加速度地震检波器。在一个硅芯片中，集成了包括四个硅束，地震质量，偏振器，M-Z波导干涉仪和声光相位调制器在内的几个元件。给出了加速度地震检波器的工作原理和优化结构设计。在有限元软件ANSYS中进行的仿真结果与理论分析吻合良好。地震检波器系统的主要设计参数如下：共振频率：1353 Hz；相位检测灵敏度ΔΦ/ a：1.2 x 10〜（-4）rad / m / s〜2。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号