硅微光机械加速度地震检波器中M-Z光波导干涉仪结构设计

著录项

• 来源
  《光学精密工程》 |2006年第1期|77-82|共6页
• 作者

  张燕君; 陈才和; 吴波; 崔宇明; 马广鹏;

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• 作者单位

  天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  燕山大学,信息科学与工程学院,河北,秦皇岛,066004;

  天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TH744.3;
• 关键词

  加速度计; M-Z干涉仪; 光波导; 结构设计;