University of Colorado at Boulder;
机译:使用商用多用户MUMP工艺的电容式微加工超声换能器:功能和局限性
机译:具有活塞形膜的电容式微加工超声换能器:制造和实验表征
机译:二维电容微加工超声换能器阵列元件的仿真和实验表征
机译:使用光学测量表征空气中的电容式微加工超声换能器
机译:使用有限元建模设计和表征电容式微加工超声换能器。
机译:电容式微机械超声波换能器使用商业多用户腮腺组流程:功能和限制
机译:电容式微机械超声波换能器,使用商业多用户腮腺组流程:功能和限制