capacitive micromachined ultrasonic transducer MUMPS finite element analysis;
机译:使用商用多用户MUMP工艺的电容式微加工超声换能器:功能和局限性
机译:带有谐振腔的空气耦合MUMP电容式微加工超声换能器
机译:使用多用户MEMS工艺制造压电微机械超声换能器的可行性研究
机译:基于多用户MEMS工艺并具有增强输出压力的低频压电微机械超声传感器
机译:使用多用户MUMP进行血管流量测量的宽带电容微加工超声换能器的设计和实验表征
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:电容式微机械超声波换能器,使用商业多用户腮腺组流程:功能和限制
机译:通过mUmps(多用户mEms工艺)计划推进mEms技术的使用