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Laser beam processing of silicon: Aspects of laser annealing and study of laser recrystallization for silicon-on-insulator material and devices

机译：硅的激光束处理：绝缘体上硅材料和器件的激光退火和激光重结晶研究

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作者
Wouters, Dirk;
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作者单位

Katholieke Universiteit Leuven (Belgium);

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授予单位 Katholieke Universiteit Leuven (Belgium);
学科
学位 Dr.
年度 1989
页码 479 p.
总页数 479
原文格式 PDF
正文语种 eng
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