钽喷丝头表面覆加金刚石膜的研究

姚锦元; 王裕超

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为改善钽喷丝头的品质，提高其硬度和耐碱腐蚀能力，利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜，并通过对钽衬底的碳化处理，成功使之沉积于纯钽喷丝头表面，对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察，大粒径金刚石薄膜有少量孔隙，小粒径金刚石薄膜细腻致密。硬度测试结果表明，金刚石薄膜钽喷丝头表面硬度达HV1000以上，远高于纯钽及其它工艺处理后的钽喷丝头。可纺性试验结果表明，其性能都达到或超过传统喷丝头，完全可以取代成本高昂的铂金喷丝头。

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来源
《磨料磨具通讯》 |2007年第3期|11-12,29|共3页
作者
姚锦元; 王裕超;
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作者单位

无;

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正文语种 CHI
中图分类模具;
关键词
钽喷丝头; 表面强化; 金刚石膜; 金刚石薄膜; 扫描电镜观察; 硬度测试; 热丝CVD; 大粒径;

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