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金刚石薄膜外延生长温度与外延膜品质的研究

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摘要

选用国产毫米级人造单晶金刚石,用微波增强的化学气相沉积方法,在氢气、丙酮体系中,实现了单晶金刚石的气相外延生长。通过扫描电镜等分析,初步实现了对外延单晶金刚石薄膜的品质鉴定。实验还发现,外延生长温度与金刚石晶面的原子密度关系密切。

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来源
《磨料磨具与磨削》 |1993年第1期|2-6|共5页
作者
张战; 马丽莹;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TG731.06;
关键词
金刚石; 薄膜; 外延生长; CVD;

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