过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的特性分析

左敦稳; 朱纪军

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利用自行研制的过滤式有极电弧沉积装置，在硅片和高速钢基体材料获得了类金刚石薄膜，分别采用扫描电镜，原子力显微镜、喇曼光谱以及磨损实验等手段薄膜进行了分析研究，结果民获得的类金刚石薄膜为非晶诚，ｓｐ＾３含量最高达７０％；基体对成膜质量影响较大，在硅片上薄膜的摩擦系数可达０．０８；同时偏压的变化会引起喇曼线中Ｄ峰和Ｇ峰位置向频移动，半高宽σＧ增大σＤ减小。

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来源
《航空学报》 |1999年第2期|144|共1页
作者
左敦稳; 朱纪军;
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作者单位

南京航空航天大学机电工程学院;

南京航空航天大学机电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
类金刚石薄膜; 真空电弧沉积; 薄膜特性;

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