碳纳米材料互连线的单粒子串扰特性研究

刘保军; 张爽; 李成

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碳纳米材料互连线的单粒子串扰特性研究

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碳纳米材料互连线由于其良好的电学、热学和力学特性,成为研究热点.随着技术节点的缩减,串扰效应对电路的影响愈加显著.本文针对单壁碳纳米管束(Single Walled Carbon Nanotube Bundles,SWCNT)、多壁碳纳米管束(Multi Walled Carbon Nanotube Bundles,MWCNT)、单层石墨烯(Single Layer Graphene Nano-Ribbon,SLGNR)及多层石墨烯(Multi Layer Graphene Nano-Ribbon,MGLNR)的互连线,研究了统一的等效RLC模型,并构建了单粒子串扰(SEC)的等效电路,对比分析了四种互连线在32 nm,21 nm和14 nm技术节点下的SEC峰值电压和脉冲宽度.结果表明,与铜互连线相比,碳纳米材料互连线的SEC较弱,但对传输信号的衰减作用较大,综合信号衰减和耦合作用程度,SWCNT和MLGNR更能有效抑制SEC的传播和影响.最后,本文利用灰色理论,分析了SEC与RLC参数之间的潜在关联性.

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来源
《电子学报》 |2023年第6期|1637-1643|共7页
作者
刘保军; 张爽; 李成;
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作者单位

空军工程大学航空机务士官学校;

国防科技大学计算机学院高性能计算国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类可靠性及例行试验;互连及多层布线技术;
关键词
碳纳米管; 石墨烯; 互连线; 单粒子串扰;

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