X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型

郑惟彬; 黄庆安; 廖小平; 李拂晓

首页> 中文期刊> 《电子学报》 >X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型

X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

射频微机械(RF MEMS)开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景.但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上,对开关的电磁特性的研究,尤其是开关高频阻抗匹配分析的研究与验证比较少.本文在高频传输线研究的基础上,推导出微机械开关的"开态"阻抗匹配模型,并利用HFSS软件对开关的高频特性进行模拟.其结果有助于设计高性能的RF MEMS开关.

著录项

来源
《电子学报》 |2003年第z1期|2213-2215|共3页
作者
郑惟彬; 黄庆安; 廖小平; 李拂晓;
展开▼
作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

南京电子器件研究所,江苏,南京,210016;

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

南京电子器件研究所,江苏,南京,210016;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;滤波技术、滤波器;粘性流体力学;
关键词
微机械膜开关; 阻抗匹配; 插入损耗; 隔离度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型 [J] . 郑惟彬 ,黄庆安 ,廖小平 . 电子学报 . 2004,第B12期
2. X波段MEMS分布式移相器开关机电性能研究 [J] . 张晓升 ,鲍景富 ,杜亦佳 . 现代电子技术 . 2010,第013期
3. X波段移相器中低弹性系数RF-MEMS开关的研究 [J] . 臧法珩 ,丁桂甫 ,宿智娟 . 传感器与微系统 . 2010,第009期
4. 高隔离度X波段RF MEMS电容式并联开关 [J] . 张理 ,姚军 ,王大甲 . 微纳电子技术 . 2008,第6期
5. 一种X波段RF MEMS开关的设计与制作研究 [J] . 雷啸锋 ,刘泽文 ,宣云 . 电子器件 . 2005,第003期
6. MEMS扭转臂膜开关的加工 [C] . 谢兴军 ,单红 . 四川省电子学会2007年学术年会 . 2007
7. X波段RF MEMS开关线型移相器的研究 [A] . 臧法珩 . 2011

X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅