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International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
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1.
Silicon MEMS Micro-Switch with Charge-Induced Retention
机译:
硅MEMS微型开关,充电诱导的保留
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
2.
SILICON-BASED MICROCANTILEVERS FOR MULTIPLE BIOLOGICAL SAMPLE DEPOSITION
机译:
基于硅基微电子的多种生物样品沉积
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
3.
THERMALLY ACTUATED, BI-STABLE, SNAPPING SILICON MEMBRANES
机译:
热驱动,双稳态,捕捉硅膜
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
4.
NEURON SIZE Si PROBE ARRAY FABRICATED ON INTEGRATED CIRCUITS FOR MULTICHANNEL ELECTRODE
机译:
用于多通道电极的集成电路制造的神经元尺寸SI探针阵列
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
5.
FLUORESCENCE AMPLIFICATION BY SELF-ALIGNED INTEGRATED MICROFLUDIC OPTICAL SYSTEMS
机译:
通过自排列的集成微型光学系统进行荧光放大
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
6.
SELECTIVE SIGNAL TRANSMISSION TO INLAID MICROCOILS BY INDUCTIVE COUPLING
机译:
通过电感耦合选择性信号传输以镶嵌微粒体
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
7.
SELECTIVE ATTACHMENT OF MULTIPLE CELL TYPES ON THERMALLY RESPONSIVE POLYMER
机译:
在热响应聚合物上选择多个细胞类型的附着
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
Bio MEMS;
Biochips;
Protein chips;
Cell chips;
Heater array;
NIPAM;
Non-fouling;
8.
COMPACT, MODULAR ASSEMBLY AND PACKAGING OF MULTI-SUBSTRATE MICROSYSTEMS
机译:
紧凑,模块化组装和多基础微系统的包装
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
9.
MICROFABRICATED TORSIONAL ACTUATOR USING SELF-ALIGNED PLASTIC DEFORMATION
机译:
使用自对准塑性变形的微制造扭转致动器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
10.
DEVELOPMENT OF GALLIUM NITRIDE-BASED MEMS STRUCTURES
机译:
基于氮化镓的MEMS结构的研制
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
11.
RF MEMS SWITCHES: STATUS OF THE TECHNOLOGY
机译:
RF MEMS交换机:技术的状态
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
12.
AN INTEGRATED PROCESS FOR POST-PACKAGING RELEASE AND VACUUM SEALING OF ELECTROPLATED NICKEL PACKAGES
机译:
电镀镍包装封装后释放和真空密封的综合方法
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
13.
A Convex-Corner Preservation Principle in Bulk Micromachining and its Applicaiton to Nano-Point Needles
机译:
散装微机械线上的凸角保存原理及其在纳米点针的应用
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
Convex-corner preservation;
Nanometric point needle;
Scanning Tunneling Microscope (STM);
Wet isotropic etching;
14.
ELECTROWETTING-BASED ACTUATION FOR MICROINJECTION
机译:
基于电润湿的微注调驱动
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
15.
INTEGRATED 3-BIT RF MEMS PHASE SHIFTER WITH CONSTANT PAHSE SHIFT FOR ACTIVE PHASED ARRAY ANTENNAS IN SATELLITE BROADCASTING SYSTEMS
机译:
集成的3位RF MEMS移相器,具有恒定相移,用于卫星广播系统中的有源相控阵天线
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
16.
A SILICON MICROFABRICATED DIRECT FORMIC ACID FUEL CELL
机译:
硅片微制酶直接甲酸燃料电池
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
17.
AN ANALYTICAL MODEL FOR THE THERMOELASTIC ACTUATION OF COMPOSITE DIAPHRAGMS
机译:
复合隔膜热弹性致动的分析模型
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
18.
A SWEEPING MODE INTEGRATED TACTILE FINGERPRINT SENSOR
机译:
综合模式集成触觉指纹传感器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
19.
Flexible Glucose Sensor with a Film-type Oxygen Electrode by Microfabrication Techniques
机译:
柔性葡萄糖传感器通过微型制备技术具有薄膜式氧电极
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
20.
MICROMACHINED TWO DIMENSIONAL RESISTOR ARRAYS FOR DETERMINATION OF GAS PARAMETERS
机译:
微机械二维电阻阵列,用于测定气体参数
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
21.
NETWORKED WIRELESS MICROSYSTEM FOR REMOTE GASTROINTESTINAL MONITORING
机译:
用于远程胃肠道监测的网络无线微系统
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
Transducers;
Microsystems;
Wireless networks;
Internet;
22.
OPTIMIZATION OF THE SIGNAL TO NOISE RATIO OF RESONANT MICROCANTILEVER TYPE CHEMICAL SENSORS
机译:
优化谐振微静电型化学传感器的信噪比
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
microcantilever sensor;
quality factor;
signal to noise;
resonant frequency;
23.
PARYLENE NEURO-CAGES FOR LIVE NEURAL NETWORKS STUDY
机译:
Parylene神经笼,用于现场神经网络研究
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
24.
A NOVEL IN-PLANE DIGITALIZATION OF MULTIPHASE MICROFLUIDS
机译:
多相微流体的内部面内数字化
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
25.
MICRONEEDLE ARRAY WITH INTEGRATED MICROCHANNELS FOR TRANSDERMAL SAMPLE EXTRACTION AND IN SITU ANALYSIS
机译:
微针阵列,具有集成的微通道,用于透皮样品提取和原位分析
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
26.
MEMS high resolution 4-20 mA current sensor for industrial I/O applications
机译:
MEMS高分辨率4-20 MA电流传感器,用于工业I / O应用
作者:
DeNatale J.
;
Borwick R.
;
Stupar P.
;
Anderson R.
;
Garrett K.
;
Morris W.
;
Yao J.J.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
automation;
microsensors;
capacitive sensors;
electric sensing devices;
MEMS;
industrial automation application;
current carrying suspension;
electrical isolation;
capacitive comb finger;
magnetic field;
Lorentz force;
flexure design;
capacitive detectio;
27.
LIQUID PACKAGING FOR MEMS SENSORS AND RF DEVICES
机译:
用于MEMS传感器和RF器件的液体包装
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
28.
COMPOSITE PHOTOPOLYMER MICROSTRUCTURES: FROM PLANAR TO 3D DEVICES
机译:
复合光聚合物微结构:从平面到3D器件
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
29.
CAPILLARY FILLING OF MICRO-RESERVOIRS WITH VARIOUS CROSS SECTIONS
机译:
具有各种横截面的微容器毛细管填充
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
30.
INTEGRATED MULTIFUNCTIONAL REPROGRAMMABLE 'MEMS DEFORMABLE MIRROR' AND '3D PHASE RETRIEVAL' BASED ADAPTIVE OPTIC SYSTEM IMPLEMENTATIONS
机译:
集成的多功能再编程“MEMS可变形镜”和“3D相位检索”自适应视镜系统实现
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
31.
/spl alpha/-line method for measuring the stability domain and pull-in hyper-surface of electrostatic actuators with multiple voltage sources
机译:
/ SPL alpha / -line方法测量稳定域的静电致动器超表面,具有多电源源
作者:
Bochobza-Degani O.
;
Elata D.
;
Nemirovsky Y.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
electrostatic actuators;
stability domain;
electrostatic actuators;
multiple voltage sources;
pull-in hyper surface;
electromechanical response;
/spl alpha/-line method;
32.
ELECTRO-MECHANICAL FEEDBACK FOR REALIZATION OF A MECHANICAL SPECTRUM ANALYZER
机译:
用于实现机械谱分析仪的电力反馈
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
33.
A LIQUID-TRIGGERED LIQUID MICROVALVE
机译:
液体触发的液体微型阀
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
34.
A DISPOSABLE POLYMER FIELD EFFECT TRANSISTOR (FET) FOR pH MEASUREMENT
机译:
用于pH测量的一次性聚合物场效应晶体管(FET)
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
35.
A NOVEL MICRO-GAS SENSOR USING LATERALLY GROWN CARBON NANOTUBES
机译:
一种新型微气传感器,使用横向生长的碳纳米管
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
36.
TUNABLE EXTERNAL-CAVITY LASER USING MEMS TECHNOLOGY
机译:
使用MEMS技术可调外腔激光器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
37.
MEASURING THE OPTICAL AND ELECTROMECHANICAL PROPERTIES OF MEMS MIRRORS
机译:
测量MEMS镜的光学和机电性质
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
38.
MEMS Conformal Electrode Array for Retinal Implant
机译:
视网膜植入物的MEMS保形电极阵列
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
39.
Characteristics of LIGA PMMA Micromirror for MOEM Optical Switch Application
机译:
MOEM光开关应用Liga PMMA微镜的特性
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
LIGA;
PMMA;
micromirror;
MOEM optical switch;
40.
ODOR APPROXIMATION OF FRUIT FLAVORS USING A QCM ODOR SENSING SYSTEM
机译:
使用QCM气味传感系统的水果口味的气味近似
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
41.
Novel Fused Sensor For Photo and Ion Sensing
机译:
用于照片和离子传感的新型熔融传感器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
42.
A Single-Crystal Silicon Symmetrical and Decoupled Gyroscope on Insulating Substrate
机译:
绝缘基板上的单晶硅对称和解耦陀螺陀螺仪
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
43.
HIGH MODULUS POLYCRYSTALLINE 3C-SiC TECHNOLOGY FOR RF MEMS
机译:
用于RF MEMS的高模量多晶3C-SIC技术
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
44.
DESIGN, FABRICATION, AND CHARACTERIZATION OF THERMALLY ISOLATING SUPPORT MEMBRANE FOR LOW-NOISE SI JFET AMPLIFIER
机译:
用于低噪声SI JFET放大器的隔离支撑膜的设计,制造和表征
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
45.
CMOS MONOLITHIC MICROELECTRODE ARRAY FOR STIMULATION AND RECORDING OF NATURAL NEURAL NETWORKS
机译:
CMOS单片微电极阵列,用于自然神经网络的刺激和记录
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
Microelectrode array;
natural neural networks;
CMOS;
impedance;
46.
MODEL FOR MICROPART PLANARIZATION IN CAPILLARY-BASED MICROASSEMBLY
机译:
基于毛细管基微型成套的微型平面化模型
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
47.
AN ALL-CAPACITIVE SENSING CHIP FOR TEMPERATURE, ABSOLUTE PRESSURE, AND RELATIVE HUMIDITY
机译:
一种用于温度,绝对压力和相对湿度的全电容传感芯片
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
48.
WAFER-SCALE MICRODEVICE TRANSFER/INTERCONNECT: FROM A NEW INTEGRATION METHOD TO ITS APPLICATION IN AN AFM-BASED DATA-STORAGE SYSTEM
机译:
晶圆级微型传输/互连:从新的集成方法在基于AFM的数据存储系统中的应用
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
49.
Sn-doped InSb thin film Hall elements by MBE and their applications
机译:
SN-掺杂的INSB薄膜霍尔元素由MBE及其应用
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
关键词:
Hall element;
Magnetic sensor;
Thin film InSb Hall element;
50.
INTEGRATED BIO-SWITCHES: NOVEL BIOSENSING DEVICES HIGHLY SUITABLE TO ACTUATORS
机译:
集成的生物开关:新型生物传感器,非常适合执行器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
51.
DEVELOPMENT OF A MULTI-MODAL, FLEXIBLE TACTILE SENSING SKIN USING POLYMER MICROMACHINING
机译:
使用聚合物微机械开发多模态,灵活的触觉感应皮肤
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
52.
A MINIATURIZED LOW-POWER WIRELESS REMOTE ENVIRONMENTAL MONITORING SYSTEM USING MICROFABRICATED ELECTROCHEMICAL SENSING ELECTRODES
机译:
一种使用微制造电化学传感电极的小型化低功耗无线远程环境监测系统
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
53.
MAGNETICALLY ACTUATED CMOS RESONANT CANTILEVER GAS SENSOR FOR VOLATILE ORGANIC COMPOUNDS
机译:
用于挥发性有机化合物的磁性驱动的CMOS共振悬臂气体传感器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
54.
SCANNING PROBE WITH ELASTOMERIC (PDMS) TIP FOR SCANNING PROBE MICROCONTACT PRINTING (SP- CP)
机译:
用弹性体(PDMS)尖端扫描探针,用于扫描探针微接触印刷(SP-CP)
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
55.
REDUCED ORDER MODELING OF FLUID STRUCTURAL INTERACTIONS IN MEMS BASED ON MODAL PROJECTION TECHNIQUES
机译:
基于模态投影技术的MEMS中流体结构相互作用的减少阶阶
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
56.
HIGH-ENERGY ION IMPLANTATION: AN ALTERNATIVE TECHNOLOGY FOR MICROMACHINING THREE-DIMENSIONAL GAAS STRUCTURES
机译:
高能量离子植入:微机械线三维GaAs结构的替代技术
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
57.
A BULK MICROMACHINED TILTABLE MIRROR ARRAY DIGITAL VARIABLE OPTICAL ATTENUATOR
机译:
散装微机械倾斜镜阵列数字可变光衰减器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
58.
ELECTRIC FIELD EFFECTS ON MICRO-CHANNEL ELECTROPHORESIS
机译:
电场对微通道电泳的影响
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
59.
SPECTRAL PERFORMANCE OF A SILICON IR MICROSPECTROMETER
机译:
硅IR微秒光谱仪的光谱性能
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
60.
SELECTIVE DEPOSITION OF PARYLENE C FOR UNDERWATER SHEAR-STRESS SENSORS
机译:
用于水下剪切应力传感器的聚对二甲苯C的选择性沉积
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
61.
OPTIMISATION, DESIGN AND FABRICATION OF A NOVEL ACCELEROMETER
机译:
新型加速度计的优化,设计和制造
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
62.
MODELING AND EXPERIMENTAL VALIDATION OF SILICON NANOTIP OXIDATION: TOWARDS A NANOELECTROMECHANICAL FILTER APPLICATION.
机译:
硅纳米氧化硅氧化的建模与实验验证:朝向纳米机电滤波器应用。
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
|
2003年
63.
A NOVEL MICRONEEDLE ARRAY INTEGRATED WITH A PDMS BIOCHIP FOR MICROFLUID SYSTEMS
机译:
一种与微流体系统的PDMS Biochip集成的新型微针阵列
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
BioMEMS;
diagnosis system;
microchannel;
microneedle;
64.
BIOSYSTEM WITH 16 HIGHLY-SELECTIVE OPTICAL-CHANNELS FOR BIOLOGICAL FLUIDS ANALYSIS IN THE VISIBLE SPECTRUM
机译:
具有16个具有16个高选择性光学通道的生物系统,可用于可见光谱中的生物流体分析
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
65.
PIEZOELECTRIC MICRO ACTUATORS IN POLYMER-COMPOSITE TECHNOLOGY
机译:
聚合物复合技术中的压电微致动器
作者:
Frank Goidschmidtbding
;
Christoph Friese
;
Peter Woias
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
66.
FABRICATION AND TESTING OF VERTICALLY-ACTUATED POLYCRYSTALLINE SiC MICROMECHANICAL RESONATORS FOR MHZ FREQUENCY APPLICATIONS
机译:
用于MHz频率应用的垂直致动多晶SIC微机械谐振器的制造和测试
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
67.
Macromodels of 3D Lateral Viscous Damping Effects for MEMS Devices
机译:
MEMS器件的3D横向粘性阻尼效应的Macromodel
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
lateral viscous damping;
model order reduction;
macromodel;
comb drive;
68.
FLUID- STRUCTURE COUPLINGANALYSIS AND SIMULATION OF A MICROMACHINEDPIEZO MICROJET
机译:
MicromachinedPiezo微喷射的流体结构耦合和仿真
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
69.
DEVELOPMENT AND CHARACTERISATION OF A HIGH ASPECT RATIO VERTICAL FET SENSOR FOR MOTION DETECTION
机译:
高纵横比垂直FET传感器进行运动检测的开发与表征
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
70.
A Micromachined Knudsen Pump for On-Chip Vacuum
机译:
用于片上真空的微机械滚子泵
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
71.
FABRICATION OF NANOCHANNELS USING GLASS TO GLASS ANODIC BONDING
机译:
用玻璃制备纳米纳米玻璃阳极粘合
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
72.
Optical IMEMS/sup /spl reg//-a fabrication process for MEMS optical switches with integrated on-chip electronics
机译:
光学IMEMS / SUP / SPL REG // - 具有集成的片上电子器件的MEMS光开关的制造过程
作者:
Brosnihan T.J.
;
Brown S.A.
;
Brogan A.
;
Gormley C.S.
;
Collins D.J.
;
Sherman S.J.
;
Lemkin M.
;
Polce N.A.
;
Davis M.S.
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
silicon;
elemental semiconductors;
optical switches;
micromirrors;
microswitches;
optical fabrication;
micromachining;
microactuators;
CMOS integrated circuits;
MEMS optical switches;
chip electronics;
silicon micromachining;
optical communications netwo;
73.
ELECTROCHEMICAL ETCHING FOR MICROMACHINING OF CORROSION RESISTANT ALLOYS
机译:
用于微观耐腐蚀合金的电化学蚀刻
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
74.
THIN FILM ENCAPSULATION OF ACCELERATION SENSORS USING POLYSILICON SACRIFICIAL LAYERS
机译:
使用多晶硅牺牲层的加速度传感器薄膜封装
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
75.
MECHANICALLY CORNER-COUPLED SQUARE MICRORESONATOR ARRAY FOR REDUCED SERIES MOTIONAL RESISTANCE
机译:
机械角耦合方形微谐振器阵列,用于减少串联动态电阻
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
array;
impedance;
mechanical coupling;
quality factor;
76.
Microwave Bonding of Polymer-Based Substrates for Micro/Nano Fluidic Applications
机译:
用于微/纳米流体应用的聚合物基底物的微波键合
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
77.
IMPROVED ELECTROMAGNETIC DISPLACEMENT TRANSDUCER WITH LARGE FORCE FOR IMPLANTABLE MIDDLE EAR HEARING AID
机译:
改进的电磁位移传感器,具有大力用于植入中耳助听器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
78.
Tuning the Quality Factor of Bulk Micromachined Structures Using the Squeeze Film Damping
机译:
使用挤压膜阻尼调整散装微机械结构的质量因子
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
79.
DOWNSCALING OF SOLID PROPELLANT PYROTECHNICAL MICROSYSTEMS
机译:
固体推进剂烟火微系统的镇压
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
80.
CMOS Signal Processing Circuits on Si (111) for Neural Activity Image-Recording with Epitaxially Grown Micro-Si Probes
机译:
CMOS信号处理电路SI(111)用于神经活动图像记录,具有外延生长的微Si探针
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
CMOS on Si (111);
neural activity recording;
micro-Si probe arrays;
VLS growth;
81.
MICROFABRICATED ELECTRODE ARRAYS FOR RESTORING LOST SENSORY AND MOTOR FUNCTIONS
机译:
用于恢复丢失的感觉和电机功能的微制定电极阵列
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
82.
GEOMETRY AND SURFACE ASSISTED FLOW DISCRETIZATION
机译:
几何和表面辅助流动离散化
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
83.
MASS-LOADED CANTILEVERS WITH SUPPRESSED HIGHER-ORDER MODES FOR MAGNETIC RESONANCE FORCE MICROSCOPY
机译:
具有抑制磁共振力显微镜的抑制高阶模式的大规模悬臂
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
84.
OPTICAL CONFINEMENT AND COLOUR SEPARATION IN A DOUBLE COLOUR LASER SCANNED PHOTODIODE (D/CLSP)
机译:
双色激光扫描光电二极管(D / CLSP)中的光学限制和颜色分离
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
85.
DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS IN TITANIUM OXIDE FOR MOEMS APPLICATIONS
机译:
用于MoEMS应用的氧化钛中的衍射光学元件
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
86.
ELECTRO-HYDRODYNAMIC MODELING OF ELECTROSPRAY IONIZATION: CAD FOR A μFLUIDIC DEVICE - MASS SPECTROMETER INTERFACE
机译:
电喷雾电离电流模型 - 用于μfluidic装置的CAD - 质谱仪界面
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
leaky-dielectric fluid;
electrohydrodynamics;
microfluidics;
electrospray ionization;
simulation;
87.
SENSOR ASSEMBLY FOR POSTURAL CONTROL BALANCE PROSTHESIS
机译:
传感器组件用于姿势控制平衡假体
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
88.
INTEGRATED OPTICAL DIFFRACTIVE MICROGRATING-BASED INJECTION FORCE SENSOR
机译:
基于集成的光学衍射微量基注射力传感器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
89.
NICKEL NANO-COMPOSITE FILM FOR MEMS APPLICATIONS
机译:
MEMS应用的镍纳米复合膜
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
90.
ROBUST SLIDING-MODE CONTROL OF ELECTROSTATIC TORSIONAL MICROMIRRORS BEYOND THE PULL-IN LIMIT
机译:
静电扭转微镜的鲁棒滑动模式控制超出拉动限制
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
91.
Humidity measurement by dynamic dew-point detection
机译:
动态露点检测湿度测量
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
92.
M/spl times/N micro flow switches using electrokinetic forces
机译:
使用电动力的M / SPL时间/ n微流量开关
作者:
Gwo-Bin Lee
;
Lung-Ming Fu
;
Ruey-Jen Yang
;
Yu-Jen Pan
;
Che-Hsin Lin
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
microswitches;
microfluidics;
numerical analysis;
chemical analysis;
mixing;
electrokinetic effects;
microflow switches;
electrokinetic forces;
microfluidic device;
valveless flow switching;
multiported microchannels;
microfluidic chip;
chemical analysis;
93.
Experimental and Numerical Studies on Micro-Droplet Movement Driven by Marangoni Effect
机译:
Marangoni效应驱动微液滴运动的实验性和数值研究
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
94.
Square-Extensional Mode Single-Crystal Silicon Micromechanical RF-resonator
机译:
方延伸模式单晶硅微机械RF - 谐振器
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
关键词:
RF-MEMS;
resonator;
SOI;
95.
FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF A LIQUID-METAL MICRO-DROPLET THERMAL SWITCH
机译:
液态金属微液滴热开关的制造与表征
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
96.
A SOFT CONTACT LENS WITH A MEMS STRAIN GAGE EMBEDDED FOR INTRAOCULAR PRESSURE MONITORING
机译:
具有嵌入用于眼压监测的MEMS应变计的柔软隐形眼镜
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
97.
On/Off Control of Biomolecular Motors in a Microfluidic Device
机译:
微流体装置中生物分子电机的开/关控制
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
98.
MODELING OF FAILURE MECHANISMS FOR OPTIMIZED MEMS CAD: DESIGN, FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF IN SITU TEST BENCHES
机译:
优化MEMS CAD失效机制建模:原位测试台的设计,制造与表征
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
99.
DESIGN CONSIDERATIONS AND REALIZATION OF A NOVEL MICROMECHANICAL BI-STABLE SWITCH
机译:
一种新型微机械双稳态开关的设计考虑与实现
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
100.
THE STUDY OF MICRO BLOOD SUGAR CONTROL DEVICE WITHOUT ENERGY SUPPLY FOR DIABETES THERAPY
机译:
微血糖控制装置的研究,无能量供应糖尿病疗法
作者:
IEEE
会议名称:
《International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems》
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2003年
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