MOSFET 1/f噪声相似性的子波鉴别方法

杜磊; 庄奕琪; 陈治国

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MOSFET 1/f噪声相似性的子波鉴别方法

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摘要

基于傅里叶分析的功率谱密度只能反映1/f噪声的整体频率特性,子波变换模极大值能够反映1/f噪声的奇异性和非规整性,而后者才是1/f噪声最本质的特征所在.本文将这一特性用于MOSFET 1/f噪声的相似性分析.从子波变换模极大值匹配原理出发,定义了一个1/f噪声的相似系数,利用它对不同形成机制、不同微观缺陷状态、不同偏置应力作用下的MOSFET 1/f噪声进行了相似性分析,发现它可作为鉴别1/f噪声的物理起源,分析1/f噪声的微观动力学机制,筛选有潜在缺陷或损伤的MOS器件的有效手段.

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来源
《电子学报》 |2000年第11期|137-139105|共4页
作者
杜磊; 庄奕琪; 陈治国;
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作者单位

西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;

西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;

西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类场效应型;
关键词
1/f噪声; 子波变换; 相似性; MOSFET;

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