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埋沟式横向电压型集成压力传感器

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本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。

著录项

来源
《电子学报》 |1991年第2期|34|共1页
作者
晋琦;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
压力传感器; 埋沟式; 电压型; 传感器;

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