利用x射线小角散射技术研究微晶硅薄膜的微结构

周炳卿; 刘丰珍; 朱美芳; 谷锦华; 周玉琴; 刘金龙; 董宝中; 李国华; 丁琨

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采用x射线小角散射(SAXS)技术研究了由射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)、热丝化学气相沉积(HWCVD)和等离子体助热丝化学气相沉积(PE-HWCVD)技术制备的微晶硅(μc-Si:H)薄膜的微结构.实验发现,在相同晶态比的情况下,PECVD沉积的μc-Si:H薄膜微空洞体积比小,结构较致密,HWCVD沉积的μ-Si:H薄膜微空洞体积比大,结构较为疏松,PE-HWCVD沉积的μc-Si:H薄膜,由于等离子体的敲打作用,与HWCVD样品相比,微结构得到明显改善.采用HWCVD二步法和PE-HWCVD加适量Ar离子分别沉积μc-Si:H薄膜,实验表明,微结构参数得到了进一步改善.45°倾角的SAXS测量显示,不同方法制备的μc-Si:H薄膜中微空洞分布都呈各向异性.红外光谱测量也证实了SAXS的结果.

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来源
《物理学报》 |2005年第5期|2172-2175|共4页
作者
周炳卿; 刘丰珍; 朱美芳; 谷锦华; 周玉琴; 刘金龙; 董宝中; 李国华; 丁琨;
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作者单位

中国科学院研究生院物理系,北京,100039;

内蒙古师范大学物理系,呼和浩特,010022;

中国科学院研究生院物理系,北京,100039;

中国科学院研究生院物理系,北京,100039;

中国科学院研究生院物理系,北京,100039;

中国科学院研究生院物理系,北京,100039;

中国科学院研究生院物理系,北京,100039;

中国科学院高能物理研究所北京同步辐射实验室,北京,100039;

中国科学院半导体研究所,北京,100083;

中国科学院半导体研究所,北京,100083;

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正文语种 chi
中图分类物理学;
关键词
微晶硅薄膜; 微结构; 微空洞; x射线小角散射;

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