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改进的DLA方法模拟薄膜二维生长

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对经典的DLA模型进行改进,研究了薄膜的二维生长过程.通过改变表征吸附原子在基底扩散能力的参量DT,DC以及表征沉积速率的参量Dv,得到了与实验一致的薄膜分形生长模式和团状生长模式.分析了薄膜的形核阶段原子团的大小分布,以及不同条件下原子团的数目和大小随覆盖度的变化.

著录项

来源
《物理学报》 |2005年第5期|2212-2219|共8页
作者
谢国锋; 王德武; 应纯同;
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作者单位

清华大学工程物理系,北京,100084;

清华大学工程物理系,北京,100084;

清华大学工程物理系,北京,100084;

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正文语种 chi
中图分类物理学;
关键词
DLA; 薄膜生长; 分形生长; 团状生长;

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