蓝宝石衬底上化学气相沉积法生长石墨烯

著录项

• 来源
  《物理化学学报》 |2016年第3期|787-792|共6页
• 作者

  刘庆彬; 蔚翠; 何泽召; 王晶晶; 李佳; 芦伟立; 冯志红;

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• 作者单位

  河北半导体研究所,专用集成电路国家级重点实验室,石家庄050051;

  河北半导体研究所,专用集成电路国家级重点实验室,石家庄050051;

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  河北半导体研究所,专用集成电路国家级重点实验室,石家庄050051;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 电化学、电解、磁化学;
• 关键词

  石墨烯; 蓝宝石; 化学气相沉积法; 生长温度; 刻蚀机理;