金刚石晶形显露的化学控制

陈友存; 谢仿卿

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采用热丝化学气相沉积法（ＨＦＣＶＤ）研究了Ｎ２，Ｏ２对金刚石晶形显露的影响发现微量的氮气的加入（Ｎ２）／（ＣＨ４）〈１％有利于金刚石（１００）晶面的显露，且不会降低金刚石晶形的完整性；微量氧的加入有利于金刚石（１１１）面显露，采用氧辅助控制金石膜（１１１）织构生长，可以使Ｘ射线（１１１）峰遥摆曲线的半宽降到６．２°，氮或氧的加入扩大了织构生长金刚（１００）或（１１１）膜的基片温度范围。

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来源
《物理化学学报》 |1998年第9期|799-803|共5页
作者
陈友存; 谢仿卿;
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作者单位

中国科学院物理研究所;

中国科学院物理研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类碳C;
关键词
金刚石; 织构生长; 化学气相沉淀; 晶形;

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