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多孔硅的电化学制备

         

摘要

单晶硅在氢氟酸溶液中阳极氧化可制得多孔硅,多孔硅是一种以新形态存在的硅,与单晶硅相比,它表现出独特的物理性质和化学活性。荧光光谱峰的蓝移表明,在p-型低掺杂衬底硅上形成的多孔硅中存在量子尺寸效应,新近获得的Raman光谱也证实了这一点。

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