基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究

著录项

• 来源
  《航空兵器》 |2017年第4期|75-79|共5页
• 作者

  郭向楠; 苑伟政; 王军平; 虞益挺; 孟庆超; 乔大勇;

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• 作者单位

  中国空空导弹研究院,河南 洛阳 471009;

  西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室,西安 710072;

  西北工业大学 陕西省微/纳米系统重点实验室,西安 710072;

  中国空空导弹研究院,河南 洛阳 471009;

  西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室,西安 710072;

  西北工业大学 陕西省微/纳米系统重点实验室,西安 710072;

  中国空空导弹研究院,河南 洛阳 471009;

  西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室,西安 710072;

  西北工业大学 陕西省微/纳米系统重点实验室,西安 710072;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光学仪器;
• 关键词

  FR-4; 微扫描镜; 电磁驱动; 有限元仿真; 性能测试;