大尺寸电磁驱动式MEMS微扫描镜有限元分析

彭旭蕊; 李庆党; 祝方舟

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大尺寸电磁驱动式MEMS微扫描镜有限元分析

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针对微扫描镜镜面尺寸过小、分辨率过低等问题,设计了一种镜面尺寸为4 mm的大尺寸电磁驱动式MEMS微扫描镜.使用COMSOL对设计的结构进行仿真模拟,分析MEMS微扫描镜在不同频率下的振动模态和扭转梁应力,并通过频响曲线分析其运动过程.结果表明,所设计的MEMS微扫描镜能够满足VGA显示模式的要求,水平扫描和垂直扫描的最大光学扫描角度分别为24.36°和59.30°.对比结果还表明,随着镜面尺寸的增加,水平扫描频率逐渐减小,屏幕分辨率逐渐降低,显示模式逐渐变差.

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来源
《机械设计与制造工程》 |2021年第6期|16-20|共5页
作者
彭旭蕊; 李庆党; 祝方舟;
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作者单位

青岛科技大学机电工程学院山东青岛 266061;

青岛科技大学机电工程学院山东青岛 266061;

青岛科技大学机电工程学院山东青岛 266061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械设计;
关键词
电磁驱动; 微扫描镜; 水平扫描; 垂直扫描;

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