基于MEMS扫描微镜的可调光滤波器的研制

颜廷皓

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基于MEMS扫描微镜的可调光滤波器的研制

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提出了基于MEMS微镜和透射式衍射光栅的可调光滤波器(TOF)方案,并对TOF进行了详细的设计.其中MEMS微镜采用体硅微加工工艺制作,镜面尺寸达到1.8mm×2.7mm,扭转角度达到±2.1°.测试结果显示,TOF系统的偏振相关损耗为0.34dB,插入损耗为2.6dB.该系统成功地实现了波长调谐的功能,得到相邻通道之间的调谐时间为1.507ms.

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来源
《光通信技术》 |2013年第9期|22-23|共2页
作者
颜廷皓;
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作者单位

山东交通技师学院,山东临沂276003;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类集成光学器件;
关键词
可调光滤波器; MEMS扫描微镜; 衍射光栅;

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