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基于 MEMS VOA 阵列的红外场景生成器

         

摘要

A novel IR scene generator based on MEMS technology is proposed for the application of dynamic semi-physical simulation systems.The working principle and device structure of the IR scene generator composed by VOA array are investigated.The novel series of bi-directional folded beam struc-ture and its array distribution solution are proposed.This work provides the foundation for the realization of large s-cale array IR scene generator .%针对动态半实物仿真系统的需求,提出了一种新颖的基于微机电系统( MEMS )技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器( VOA )阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构,提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案,为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。

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