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亚纳米级超光滑表面完整性检测及评价技术研究

         

摘要

cqvip:完成情况简介:本项目开展了对玻璃、金属、陶瓷三种不同特性材料超光滑表面加工、检测方法、完整性评价及其参数、表面粗糙度特征谱分析等的研究。了解了当前各种超光滑表面加工方法的进展情况及其发展前景,设计了需要的各种试件,初步得到了部分参数与加工工艺间的联系;开展了对基于各种测量原理仪器的研究,分析了现阶段对超光滑表面完整性评价的局限性,在粗糙度、硬度、残余应力等完整性参数基础上,

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