冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证

著录项

• 来源
  《宇航材料工艺》 |2019年第4期|23-27|共5页
• 作者

  朱徐立; 徐隆; 苏骑; 吴虹琼;

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• 作者单位

  厦门城市职业学院机械与自动化工程系;

  厦门 361000;

  厦门城市职业学院机械与自动化工程系;

  厦门 361000;

  美甘齐动(厦门)物料输送工程股份有限公司;

  厦门361000;

  厦门理工学院软件工程学院;

  厦门361000;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 晶体生长;
• 关键词

  多晶硅; 冶金法; 退火; 建模; 试验;