首页> 中文期刊> 《集成电路应用》 >光刻设备运输中的并联结构减振方案分析

光刻设备运输中的并联结构减振方案分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

阐述光刻设备中的大型精密设备运输减振需求,设计了基于钢丝绳弹簧并联结构的运输减振方案,可以满足运输过程中冲击<5g减振需求。探讨钢丝绳并联结构的动力学特性,获得不同参数下系统的减振特性,针对运输减振方案中的结构进行强度仿真,给出某设备运输过程的实测结果。

著录项

来源
《集成电路应用》 |2023年第2期|303-305|共3页
作者
宋兴龙;
展开▼
作者单位

上海微电子装备(集团)股份有限公司;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;
关键词
光刻设备; 大型精密设备; 钢丝绳并联; 减振系统;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于并联空气弹簧结构的卫星运输减振系统设计及振动特性分析 [J] . 刘广通 ,屈迪 ,郭涛 . 振动与冲击 . 2021,第7期
2. 大型设备路面运输中八自由度减振基座结构设计及动力学分析 [J] . 陈宁 ,张功学 . 科学技术与工程 . 2018,第002期
3. 海上导管架平台结构隔振控制方案与减振效果分析 [J] . 刘山 ,麦汉超 ,申仲翰 . 强度与环境 . 2004,第003期
4. 某物联网机箱设备结构振动分析与减振研究 [J] . 刘松涛 ,刘营 ,李鸿光 . 噪声与振动控制 . 2018,第005期
5. 化学品船结构减振方案分析 [J] . 郑晨阳 . 江苏船舶 . 2022,第2期
6. 基于空气弹簧并联结构的精密设备运输减振系统研究 [C] . 白一帆 ,谢颖 ,何田 . 中国力学大会2017暨庆祝中国力学学会成立60周年大会 . -1
7. 精密设备运输用集装箱内减振系统振动特性分析与试验研究 [A] . 于道航 . 2020

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号