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集成电路制造的超洁净工程分析

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摘要

洁净室工程始于业主新建厂房计划,在业主确定建厂计划后,会联系具有设计资质的设计商为工厂做整体设计方案,由于洁净室工程在厂房建设中处于重要地位,故在工程设计的过程中设计方会和业主反复沟通,确定洁净厂房的建造方案和技术标准.

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来源
《集成电路应用》 |2018年第1期|58-61|共4页
作者
秦建东; 李玲;
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作者单位

河南大学环境与规划学院,河南 475001;

河南大学环境与规划学院,河南 475001;

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正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
集成电路制造; 晶圆厂; Fab; 超洁净工厂;

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