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浅析7nm之后的工艺制程的实现

         

摘要

近来,GlobalFoundries宣布将会推进7 nm FinFET工艺,引发了行业对工艺节点、光刻等技术的探讨.这是是来自SemiEngineering年的一篇报道,带领大家了解7 nm工艺及以后的半导体业界的发展方向.

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