全耗尽绝缘硅FD-SOI工艺技术的特点分析

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在先进的IC制造工艺方面,由Intel主导的FinFET一直大行其道.而最近这几年,SOI,包括FD-SOI和RF-SOI越来越受到人们的关注,特别是随着物联网和5G时代的到来,其技术优势和应用前景也越发地被看好.在应用层面,总的来说,FinFET的目标市场是中高端的高性能集成电路,而FD-SOI则是面向中端的、要求低功耗和高性价比的应用.

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来源
《集成电路应用》 |2017年第11期|38-41|共4页
作者
孔文;
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作者单位

深圳市安芯易电子有限公司,广东 518031;

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正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
集成电路制造; 全耗尽绝缘硅; RF-SOI;

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