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碳纳米管:诱人的互连替代方案

         

摘要

碳纳米管(CNT)将在未来的片上互连制造中扮演重要的角色。CNT具有许多独特的性能,包括负载超过109A/cm^2的高密度电流的能力,这比常规导线约高三个数量级;超高的热传导率,电子能够沿着碳纳米管进行弹道式输运;以及非常好的机械强度,而且还不会发生电迁移(EM)。

著录项

  • 来源
    《集成电路应用》 |2007年第7期|22|共1页
  • 作者

    Peter Singer;

  • 作者单位

    《Simiconductor International》编辑部;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
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