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用于控制清洗和刻蚀溶液的实时监控技术

         

摘要

现代湿法工艺流程需要对稀释程度很高的多组分溶液进行实时监控。本文将介绍NIR分析设备的功能。通过该方法可以获得超低的杂讯级别,同时从二极管阵列光谱仪上得到多元信号,这样可以实现对温度和气泡引起干扰的有效补偿,还可以选择性地决定多种组分的含量,可监测范围可宽达ppm量级到100%。

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