离子注入工件温度的测量装置

丁胜群

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离子注入工件温度的测量装置

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离子注入材料改性是80年代一种新技术,新工艺,能提高材料的表面硬度,耐磨、抗腐蚀及改变表面的摩擦润滑性能,而注入工件在高真空、高电压和强辐射场环境中测量有一定的难度.本文描述在60～100KV 氮离子注入工件温度的测量装置,在0～+300℃范围内其最小二乘法线性度为0.2%,灵敏度约为20mV/℃;在我校100kV 离子注入金属改性机上试验表明,能稳定可靠地工作。

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来源
《集成电路应用》 |1990年第2期|28-31|共4页
作者
丁胜群;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类掺杂;
关键词
离子注入; 工件; 温度测量装置;

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