半导体洁净室的空气净化技术综述

陈玲

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阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求。洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器。直流FFU因其节能特性成为主流产品,高效/超高效过滤器的材质由传统的超细玻璃纤维发展到PTFE、纳米纤维。化学过滤器因其所去除的气态污染物的多样化,材料也更为多元化,包括活性炭、离子交换树脂、离子交换纤维及其他多种材料。

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来源
《集成电路应用》 |2022年第1期|49-53|共5页
作者
陈玲;
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作者单位

美埃(中国)环境科技股份有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类一般性问题;制造工艺;
关键词
半导体洁净室; 风机过滤单元; 高效/超高效过滤器; 化学过滤器; 滤料;

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