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预测控制的鲁棒性改进及其在晶体炉中的应用

         

摘要

将引入失配滤波器的基于内模控制结构的广义预测控制纳入一般内模控制框架,设计满足稳定鲁棒性和品质鲁棒性的滤波器,改进了预测控制的鲁棒性.将该方法应用于多温区晶体生长晶体炉的温度控制仿真实验,研究了它的控制精度和鲁棒性.结果表明,该方法具有较好的控制精度和较强的鲁棒性,为将该方法应用于晶体生长炉的温度控制做了必要准备.

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