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共焦检测型扫描光学系统

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摘要

介绍一种用于亚微米尺寸测量的混合型激光扫描光学系统。该扫描光学系统是将具有不同偏转角度特性、向同一方向扫描的AOD(声光式偏转器)和GM(电控反射镜)两个扫描元件配置在同一光路中。当驱动一个扫描元件时,另一个扫描元件停止动作,两者动作是互补的。

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来源
《航空精密制造技术》 |1993年第6期|P.25-25|共1页
作者
周菊芳;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类航空制造工艺;
关键词
光学系统; 扫描元件; 共焦检测; 微米尺寸; 激光扫描; 偏转器; 偏转角度; 精密测量; 扫描过程; 扫描范围;

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