光刻胶聚硅氧烷和硅倍半氧烷树脂的合成

著录项

• 来源
  《化工管理》 |2017年第24期|59|共1页
• 作者

  冯心奕; 刘运; 周元基; 向容; 孙逊运;

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• 作者单位

  潍坊市第一中学,山东 潍坊 261205;

  潍坊星泰克微电子材料有限公司,山东 潍坊 261205;

  潍坊星泰克微电子材料有限公司,山东 潍坊 261205;

  潍坊星泰克微电子材料有限公司,山东 潍坊 261205;

  潍坊星泰克微电子材料有限公司,山东 潍坊 261205;

  潍坊星泰克微电子材料有限公司,山东 潍坊 261205;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类
• 关键词

  聚硅氧烷; 聚硅倍氧半烷; 光刻胶; 刻蚀性能;