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氯化氢含氧量等技术条件对三氯氢硅质量、产量的影响

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介绍了氯化氢含氧、水量,反应温度等技术条件对生产三氯氢硅的影响,并论述了一些提高三氯氢硅收率的措施.

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来源
《化工管理》 |2015年第12期|72|共1页
作者
杜俊平; 赵雄;
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作者单位

中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;

洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471000;

中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;

洛阳中硅高科技有限公司,河南洛阳471000;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
三氯氢硅; 氯化氢; 水; 反应温度;

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