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半导体单晶制造装置

         

摘要

历史发展表明,半导体信息功能材料和器件是信息科学技术发展的先导和基础.20世纪40年代末50年代初,晶体管的发明、硅单晶材料和硅集成电路(ICs)的研制成功,导致了电子业大革命.20世纪60-70年代,光导纤维材料和以砷化镓(G aAs)为基的半导体激光器的发明,超晶格、量子阱微结构材料和高速器件的研制成功,使人类进入到光纤通信、移动通信和高速、宽带信息网络的时代.纳米科学技术的发展和应用将使人们能从原子、分子或纳米尺度的水平上控制、操纵和制造功能强大的人工结构材料和量子器件,极有可能触发新的技术革命,并将深刻地影响人类的生产和生活方式.

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