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浅谈多晶硅生产中的设备清洗

         

摘要

随着智能工业、信息技术及太阳能产业的发展,对高纯度多晶硅材料的需求居高不下,使国内涌现出一股搭上多晶硅项目的热潮.但多晶硅生产装置对设备和周围环境的清洁度要求非常高,系统的油脂、水分、氯离子、氯化物、灰尘和杂物等杂质对产品质量影响很大,易产生安全隐患并引发安全事故.

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