集成电路技术大幅提升MEMS性能

Vishal Goyal

首页> 中文期刊>中国电子商情·基础电子 >集成电路技术大幅提升MEMS性能

集成电路技术大幅提升MEMS性能

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

@@ MEMS(微机电系统)传感器深受运动、加速度、倾斜度和振动测量市场的欢迎.MEMS传感器是系统级封装解决方案,具有高分辨率、低功耗和尺寸紧凑等诸多优点.rnMEMS完全不同于主要利用硅的电性质的半导体芯片.MEMS的核心部件没有栅-漏-源三极,而是一个完全由硅制成的微型机械结构.一个典型的MEMS结构包括质量矩滑块、弹簧和阻尼器,工作原理与质量弹簧模型基本相同.

著录项

来源
《中国电子商情·基础电子》|2011年第4期|38-39|共2页
作者
Vishal Goyal;
展开▼
作者单位

意法半导体;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. ADI超低功耗MEMS加速度计大幅提升电池寿命 [J] . 韩霜 . 世界电子元器件 . 2012,第008期
2. IBM采用全新四核处理器大幅提升x86服务器性能新款服务器采用均衡系统设计以优化四核性能 [J] . . 计算机系统应用 . 2007,第1期
3. 完整的嵌入式处理平台——高性能总线架构、新款MicroBlaze 32位处理器、IP、设计工具和对操作系统的支持大幅提升了平台性能 [J] . . 今日电子 . 2007,第12期
4. 均衡系统设计优化四核性能,x86服务器性能大幅提升 IBM采用全新四核处理器 [J] . . 微型机与应用 . 2006,第012期
5. 意法半导体(ST)发布拥有顶级性能的MEMS加速度计,提升丰富的用户体验 [J] . . 电子设计工程 . 2013,第18期
6. Hardfast创新阳极氧化技术:用于大幅提升氧化效率和成膜质量,同时大幅降低能耗的新一代脉冲电源及氧化添加剂 [C] . Marcello Rossi ,Fabio Vincenzi ,Federico Vincenzi . 第七届广东铝加工技术（国际）研讨会 . 2016
7. 提升大幅面打印机数据传输性能关键技术研究 [A] . 李伟 . 2009

集成电路技术大幅提升MEMS性能

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅