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90纳米CMOS工艺的毫米波CPW模型

         

摘要

现阶段,微电子技术的飞速发展,对集成电路的设计提出了更加严格的要求.在毫米波集成电路设计中,硅基共面波导(CPW)是一种关键性的基础元件,文章对CPW的机制以及等效电路模型的设计进行了简要分析,提出了基于90 nmCMOS工艺的毫米波CPW模型及参数提取算法,经对比分析,该模型在0~66 GHz内有效.

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