微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析

王翔; 赵钢; 郭锐; 李国锋; 黄文浩

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微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析

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微机电系统的发展,对微细加工技术提出了更高的要求.目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术,难以进行真三维结构的制造.对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础.微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径.

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来源
《中国机械工程》 |2006年第10期|1051-1055|共5页
作者
王翔; 赵钢; 郭锐; 李国锋; 黄文浩;
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作者单位

中国科学技术大学,合肥,230026;

中国科学技术大学,合肥,230026;

中国科学技术大学,合肥,230026;

中国科学技术大学,合肥,230026;

中国科学技术大学,合肥,230026;

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正文语种 chi
中图分类 TP305.1;
关键词
微细加工; 微细光成形; 双光子微细光成形; LIGA; 微细电铸;

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