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微旋转结构在薄膜应力测量中的应用

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摘要

利用有限元仿真方法,研究了微旋转结构几何参数对结构应变响应的影响.结果表明,固定梁与旋转梁的长度以及这两种梁连接部分的宽度和连接中心距都对结构的应变响应具有较显著的影响,而梁的宽度及连接部分的长度对应变响应的影响可忽略,因此,需要综合考虑以达到结构的优化设计.给出了一组旋转结构的设计参数.

著录项

来源
《中国机械工程》 |2005年第z1期|409-411|共3页
作者
虞益挺; 苑伟政; 乔大勇;
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作者单位

西北工业大学,西安,710072;

西北工业大学,西安,710072;

西北工业大学,西安,710072;

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正文语种 chi
中图分类膜集成电路;
关键词
微机电系统; 微旋转结构; 薄膜; 残余应力;

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