一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究

朱常兴; 李勇; 陈旭鹏; 叶雄英; 周兆英

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一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究

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介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.

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来源
《中国机械工程》 |2005年第z1期|99-101|共3页
作者
朱常兴; 李勇; 陈旭鹏; 叶雄英; 周兆英;
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作者单位

清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;

清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;

清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;

清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;

清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP271.3;
关键词
MEMS; 微型阀; 微小流量控制; 电磁致动器;

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