微结构的大转角非线性动态行为的宏建模方法

何洋; 霍鹏飞; 苑伟政; 姜澄宇

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微结构的大转角非线性动态行为的宏建模方法

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针对微结构的大转角非线性动态行为,提出采用欧拉参数法对用传统欧拉角度法描述的微结构动力学方程进行线性化,以避免MEMS器件的系统级仿真不收敛和提高仿真速度.以大转角扭转微镜为例验证了方法的有效性.用硬件描述语言Mast编程建立了组件模型,使用组件模型构建了系统级模型并进行了仿真分析.分析表明,两种方法的仿真精度与有限元方法比较相差都在2%以内;与欧拉角度法比较,使用欧拉参数法仿真速度快3倍以上;说明使用欧拉参数法能够在不显著损失精度的前提下更加有效地描述微结构的大转角非线性动态行为.

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来源
《中国机械工程》 |2005年第z1期|318-321|共4页
作者
何洋; 霍鹏飞; 苑伟政; 姜澄宇;
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作者单位

西北工业大学,西安,710072;

西安机电信息研究所,西安,710065;

西北工业大学,西安,710072;

西北工业大学,西安,710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计、性能分析与综合;
关键词
欧拉参数法; 大转角; 非线性; 宏建模;

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