等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用

梁静; 林小辉

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等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用

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镀膜行业的快速发展对溅射靶材的大型化、利用率等提出了更高要求.但传统的靶材制备方法在靶材大型化方面存在很大局限.等离子喷涂技术可喷涂几乎所有的陶瓷、金属、金属化合物,在靶材制备领域有着巨大的应用潜力.本文重点介绍了目前溅射靶材主要制备方法及存在问题,并对等离子喷涂制备溅射靶材的特点及设备现状及发展方向进行了阐述.

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来源
《中国钼业》 |2014年第2期|43-46|共4页
作者
梁静; 林小辉;
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作者单位

西北有色金属研究院,陕西西安710016;

西北有色金属研究院,陕西西安710016;

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正文语种 chi
中图分类钼;
关键词
等离子喷涂; 溅射靶材; 制备;

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