等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用

刘树峰; 刘思德

首页> 中文期刊> 《稀土信息》 >等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用

等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

近年来，随着全球经济技术的高速发展，产品的多功能化和轻便化的不断推进，使得薄膜科学的应用日益广泛。而溅射靶材作为镀膜产业的基本耗材，其制备技术也得到了长足发展。溅射薄膜由于其致密度高，附着性好，被广泛应用于装饰、玻璃、电子器件、光学器件、半导体、磁记录、平面显示屏、太阳能电池、飞机叶片防护涂层等众多领域。随着上述领域的快速发展，对靶材的需求量急剧增加，同时对靶材的高质量、大型化及利用率方面也提出了更高的要求。

著录项

来源
《稀土信息》 |2018年第4期|32-35|共4页
作者
刘树峰; 刘思德;
展开▼
作者单位

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用 [J] . 梁静 ,林小辉 . 中国钼业 . 2014,第002期
2. 热喷涂技术在海洋环境装备中的应用 [J] . 张彬 ,李秉忠 ,童向阳 . 科技资讯 . 2013,第002期
3. 热喷涂技术制备耐蚀涂层在炼油装备中的应用及发展前景 [J] . 夏光明 ,闵小兵 ,周建桥 . 金属材料与冶金工程 . 2012,第4期
4. 热喷涂技术在电站设备中的应用 [J] . 徐维普 ,杨金富 ,俞厚德 . 江西电力职业技术学院学报 . 2006,第003期
5. 冷喷涂技术及其在油气装备中的应用展望 [J] . 祝效华 ,杨眉 ,刘清友 . 天然气工业 . 2004,第012期
6. 电弧喷涂技术在风力发电设备中的应用 [C] . 庞训安 ,易春龙 ,洪伟 . 2007年全国热喷涂技术研讨会 . 2007
7. 热喷涂技术在氧化铝生产设备中的应用研究 [A] . 鲍宇 . 2001

等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅