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机译：扁平型等离子诊断设备件型等离子诊断设备，配备平面等离子诊断设备静电卡盘嵌入平面等离子体诊断系统中。 本研究是一种材料创新计划（NRF）材料创新计划（1711120490 / 2020M34A3106004），由科学和技术信息和通信部门提供支持。委托为51％）韩国国家科技研究协会（NST）研发 同盟计划（1711062007 / CAP-17-02-NFRI-01）由Kriss支持。