溅射时间对铝掺氧化锌(ZAO)薄膜性能的影响

机译：溅射条件对面对靶溅射系统制备的掺铝氧化锌薄膜性能的影响

机译：直流溅射沉积氧化锌和掺铝氧化锌薄膜的结构和电性能研究

机译：低溅射压力对掺铝氧化锌薄膜结构，电学和光学性能的影响

机译：2013年第28届EU PVSEC的温度对RF磁控溅射法制备的高质量掺铝氧化锌薄膜生长的影响

机译：氧化锌和掺铝氧化锌薄膜的溶胶凝胶合成与表征。

机译：在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能

机译：衬底温度对直流磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响

机译：反应共溅射制备高透明导电铝掺杂氧化锌薄膜（后印刷）。

机译：掺铝氧化锌薄膜，其制备方法以及包含该薄膜的微机电系统装置

机译：基于氧化锌的溅射靶材，制造基于氧化锌的溅射靶材的方法，以及具有通过制造基于氧化锌的溅射靶材的方法沉积的具有屏蔽层的薄膜晶体管

机译：电解法改善掺铝氧化锌薄膜的使用寿命