热致动微型阀膜片的仿真分析及工艺设计

曹剑; 唐建忠; 朱笑丛

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热致动微型阀膜片的仿真分析及工艺设计

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热致动微型阀的主要结构部件为致动膜片.采用硅铝双金属作为膜片材料,设计了一种微型阀的结构,并分析其在温度变化条件下产生挠曲变形的原理.膜片的结构参数与加载温度对其变形量有着重要影响,需要对多个参数进行优化设计.利用ANSYS对膜片进行有限元分析,建立了膜片长度、厚度、宽度及其比例关系、温度对膜片变形的影响曲线,为结构设计提供了理论依据.最后,基于MEMS加工技术,对致动膜片进行了工艺设计.

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来源
《液压与气动》 |2014年第1期|13-17|共5页
作者
曹剑; 唐建忠; 朱笑丛;
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作者单位

合肥工业大学机械与汽车工程学院,安徽合肥230009;

浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室,浙江杭州310027;

浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室,浙江杭州310027;

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正文语种 chi
中图分类气压传动;
关键词
微型阀; 双金属; 膜片; ANSYS; 工艺;

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