面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述

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• 来源
  《液压与气动》 |2022年第5期|1-17|共17页
• 作者

  杨津宇; 杨军; 白晓蓉; 任政钢; 刘成卫; 龚轩; 胡亮; 阮晓东;

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• 作者单位

  浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室;

  浙江启尔机电技术有限公司;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 液压传动;
• 关键词

  半导体; 湿法制程; 超洁净流控; 磁悬浮泵; 波纹管泵; 隔膜阀; 超声波流量传感器;